本文摘要：
美国密西根大学（UniversityofMichigan）无线构建微系统中心（CenterforWirelessIntegratedMicroSystems，WIMS）批量生产了由18个气体用微泵串联而出的MEMS元件，并在“MEMS2007”上公开发表了该元件的简要（1月24日的Sessions9）。 SiMEMS技术生产的气体用微泵需要普遍应用于环境探测器、生物信息探测器、气体传感器、呼气传感器、微型燃料电池单元等领域。WIMS现在正在利用微泵，研发超小型气相色谱仪。
美国密西根大学（UniversityofMichigan）无线构建微系统中心（CenterforWirelessIntegratedMicroSystems，WIMS）批量生产了由18个气体用微泵串联而出的MEMS元件，并在“MEMS2007”上公开发表了该元件的简要（1月24日的Sessions9）。 SiMEMS技术生产的气体用微泵需要普遍应用于环境探测器、生物信息探测器、气体传感器、呼气传感器、微型燃料电池单元等领域。WIMS现在正在利用微泵，研发超小型气相色谱仪。
但是，由于现有微泵的流量和压力较低，无法超过气相色谱拒绝的标准。 因此，WIMS使用了将多个微泵直列串联，通过微阀和泵的同步工作提升压力的方式。泵和阀使用有机高分子凝对二甲苯（Parylene）薄膜生产，利用静电力驱动。WIMS分别批量生产了2级、4级、18级串联泵，并对工作性能展开了测量。
测量的*大压力分别为2.5kPa、7.0kPa、17.5kPa，*大流量分别为2.1sccm、3.0sccm、4.0sccm。 18级串联泵的尺寸为25.1mm×19.1mm×1mm。耗电量为57mW。
驱动电压为±100V。驱动频率为17kHz。
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